La pulizia della superficie del plasma è un processo in cui le impurità e i contaminanti della superficie del campione vengono rimossi mediante la creazione di plasma ad alta energia da particelle gassose, è stato progettato per varie applicazioni come pulizia superficiale, sterilizzazione superficiale, attivazione superficiale, alterazione dell'energia superficiale, preparazione della superficie per l'incollaggio e l'adesione, modifica della chimica della superficie.